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产品概述 |
该微小型气体流量控制器采用关键矽微机械加工技术的MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的MEMS( Microelectromechanical systems)气体质量流量计和流量控制器,主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。
该产品能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。其特点是可靠性高、重复性好,压损小,无可动部件,量程比宽,响应时间较快,测量精度高,无需要温度压力补偿。
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产品技术参数、特点 |
技术参数: 2.1测量介质:各种气体(乙炔气和混合气体除外)
2.2 流量范围:DN3 30-300ml/min
DN6 60-600ml/min
DN8 80-800ml/min
DN10 100-1000ml/min
注:(a)以上流量的测量介质为空气而言;
(b)以上流量的标准状态20℃,101.325kPa。
(c)每个口径量程范围均可扩大
(d)特殊需要可联系厂家单独标定 2.3 流量测量准确度:±1.5%FS;±2.5%FS
2.4 工作温度范围:0-55℃;
2.5 工作压力范围:0.3MPa,0.6MPa,1.0MPa
2.6 供电电源:24VDC±10%;
2.7 输出信号:4-20mA,RS485通讯;
2.8 环境温度:0-55℃;
2.9 显示位数:瞬时流量为三位,累积流量10位。 特点: 1、产品集成度高,集瞬间流量显示、累计流量显示和信号输出一体,并可实现自动调节、控制阀门。 2、μf微流量感热式传感器采用大规模集成电路生产技术和材料加工技术,使流量计的微流量测量灵敏度显著提升。 3、微小流量气体测量,ml/min级的微流量测控,实现微小流量测量的数字化。 4、单个芯片的卓越流量特性的微处理技术,使流量计的量程范围大大提高。 5、机电一体化优化设计,智能化的数据处理技术,使流量计具有更好的重复性,实现了计量的准确、可靠。 5、结构的优化,MFM流量计的压力损失达到最小化。 6、采用国际最新的MF传感技术,使流量计工作更稳定、可靠。 7、独创零点自校功能,测量更准确。 8、多种气体实际标定,全量程补偿。 9、快速响应、数据自动存储,配合上位机可实现网络集中管理。 10、规格齐全,量程范围宽,可根据用户要求单独标定。 11、精度等级高,满足用户高精度测量要求。 12、独有的流量计报警功能,使监控更可靠。 13、操作、设置界面友好、简便,可根据需要自行设定相关参数。 14、运用行业多,是科研院所、分析仪表行业、半导体行业、光伏行业、玻璃镀膜、石油化工行业微小气体流量控制产品升级换代的首选。 |